PAC Alcor开发了超快速“椭圆偏振法航煤氧化加热管操作简单, 数据输出、储存方便扫描评定仪”(简称OptiReader)。该仪器通过全2D和3D厚度扫描技术测定加热管上最大沉积厚度和体积, 得出快速、精确和准确的“合格/不合格”评定结果。操作界面简单、直观，可零基础入门，为用户节约时间和成本。

无需培训

操作简单、零基础入门
10.8 英寸彩色触摸屏，直观又简便
一键式操作
无须目测确认

操作简单, 数据输出、储存方便

高精准度

优于ASTM D3241方法
通过一套( 5 支)原子层沉积标准管 (ALD)验证结果

重复性小于2nm, 再现性小于4nm

在评定中最小化人为错误

数值扫描

显示 合格/不合格 评定结果

可测量加热管沉积厚度和沉积体积

JFTOT & OptiReader 数据一致的报告

拥有智能加热管的数据集成技术

评定最快

10分钟内完成全扫描
自动结果验证